江苏鲁汶仪器有限公司两台8英寸磁存储器刻蚀机交付台湾工研院使用
作者:王慧 来源:邳州政府网 日期:2018-08-22 浏览
 8月20日,鲁汶仪器首次两台8英寸磁存储器刻蚀机成功下线,即将启运发往台湾并交付台湾工研院使用。当天,鲁汶仪器公司举行盛大交付仪式,标志着鲁汶仪器生产的磁存储器刻蚀机攻克了磁存储器刻蚀的难关,得到业界认可。
  在鲁汶仪器公司装配车间,工人们正在紧张地对磁存储器刻蚀机的组件进行包装,准备装车。据悉,鲁汶仪器是由比利时鲁汶仪器、中科院微电子研究所等共同注资成立,该半导体设备制造企业虽然成立时间只有两年多,却成绩斐然:成立苏北首家诺贝尔奖工作室,国内首台套磁存储刻蚀机和纳米材料孔径仪同时下线,在一年内公司订单额由500多万元上升到3000万元。今年3月,鲁汶仪器再次树下里程碑,打败其他知名刻蚀机厂商,成功接下台湾工研院的订单。鲁汶仪器公司运营总裁陈璐表示:“台湾工研院的订单对于公司来讲意义重大,因为台湾在半导体界一直是个非常巨大的市场,是一个风向标,我们的机器能够竞标成功,说明我们的技术能够立足于世界。”
  磁存储器一直是被公认的世界上最有前途的下一代存储器,它能够替代闪存、静态存储器、动态存储器三大通常使用的存储器,不仅聚集了所有的优点,而且能够速度更快,体积更小。至2018年,台湾地区连续八年占据全球最大的半导体材料买家的头衔,而鲁汶仪器生产的刻蚀机,具有全自动的刻蚀工艺,软件中包括刻蚀材料的推荐工艺菜单,不仅操作简单,而且重复性好,经久耐用。
  此次成功交付台湾工研院,也为鲁汶仪器打入国际市场奠定了坚实的基础。陈璐介绍说:“公司的主攻方向是磁存储器刻蚀机,磁存储器目前在全世界范围内还没有大规模的生产,主要是因为刻蚀是一个非常难的步骤,而我们团队立志于攻关。经过这两年时间的不懈努力,我们已经研造出了8英寸以下兼容的磁存储器刻蚀机,而且效果非常好,这给了我们很大的鼓励和信心。”

  由于8英寸的磁存储刻蚀机目前只能适用于大学、研究所等小线的生产,鲁汶仪器目前正在攻关12英寸磁存储刻蚀机的生产,在领跑中国半导体高端设备制造业的同时,也在邳州形成了可观的集聚效应。“鲁汶仪器公司之所以有今天的成就,每一步都得益于经济开发区‘保姆式’的悉心服务,帮助企业解决厂房场地,招募所需要的人才,并和中科院微电子所合办研修班,专门培养半导体人才。总之,邳州市委市政府为了推动半导体产业发展,做了很多实际的工作。如今,这里整体经济环境尤其是半导体产业发展环境非常好,大家在一起做出了这么高大上的机器,真的非常开心。”陈璐如是说。


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